実際にどのような方法で微細化を行ったり，素子の形にして行くのか，概要を紹介します．

選択的蒸着法

上記のような様々な方法でパターン形成したレジスト膜を使い，

リフトオフ法

ステンシル・テンプレート法

ステンシル・テンプレートは，製図などで決まった形の図形や文字(ステンシル)を鉛筆などの筆記具で描くための穴の開いた板のことを指します．