エッチング
「エッチング」は，日本語に訳せば腐食法で，元来彫刻などのために化学的方法で対象の一部を溶解させ，文字やその他の形状に細かな凹凸を作る技法を指します． 微細加工では，一般にレジストで保護されていない領域を溶解あるいは切削する手法をエッチングと呼んでいます． エッチング中の雰囲気で，ウエット・エッチングとドライ・エッチングに分類されます．
ウエット・エッチング
反応性の溶液によって試料を溶解する手法です．レジストによって保護された部分が溶解されずに残り，レジストのパターンが試料形状に転写されます． 溶液への溶解度がレジストとエッチング対象物質で大きく異なっている必要があります．