マスクレス露光装置「PALET」簡易マニュアル

以下，NeoArk社製のマスクレス露光装置「PALET」の使用法について簡単に説明いたします．

パターン準備

PALETはEthernet経由でPCと接続されており，PCからの命令を受けてDLPを制御し露光します． 描画パターンは，ビットマップファイル(フォーマットjpeg，png，gif)によりラスタスキャンいたします． 露光前にパターンファイルを何らかの方法で準備し，付属のPCに読み込ませ，制御ソフトに認識させる必要があります． パターンファイルに対して，露光の倍率(縮尺)は，1 μm/10 pxとなっています．

露光の実際

露光にあたっては，レジスト塗布した試料に白色蛍光灯の光を当てないように注意します． レジスト塗布は黄色いビニールをかけたブース内のスピンコーターを使用し，出し入れに際して試料を光が入らない容器で保持するようにします．PALETも小さな黄色ビニールのテント内に保持されており，