装置講習の予定
特にStep1(講師が実際に使用し,説明するのを見学)の講習においては,複数の受講者を対象にした講習を行う可能性があり,その場合には,この欄に日時等をアナウンスいたします.
装置と使用に必要な講習回数
表の値は目安で,ユーザーの実験のご経験に基づいて,ご利用許可を出させていただく場合があります.
装置名(リンク) | 必要講習 | 備考 | |
---|---|---|---|
Step1 | Step2 | ||
ELS7700 | 1 | 2 | レジストレーション(マスク合わせ)まで含めた描画には,更に講習が必要です. |
ネオアークPALET | 1 | 1 | |
イオンビームスパッタ蒸着装置1 | 1 | 1 | イオンビームスパッタ装置2と,多少異なる点はありますが,使用法はほぼ同じなので,2が使えれば,1の講習は必要ありません. |
イオンビームスパッタ蒸着装置2 | 1 | 1 | イオンビームスパッタ装置1と,多少異なる点はありますが,使用法はほぼ同じなので,1が使えれば,2の講習は必要ありません. |
デュアルイオンビームスパッタ蒸着装置 | 1 | 1 | |
E-ガンソース蒸着機 | 1 | 1 | |
ECRイオンエッチ装置 | 1 | 1 | |
試料回転蒸着機 | 1 | 0 | 簡易な抵抗加熱式蒸着機で,一度説明をきけば OK. |
Bruker (Veeco) AFM Innova | 1 | 1 | |
UVオゾンクリーナー | 1 | 1 | |
酸素プラズマクリーナー | 1 | 1 | |
JEOL J6340F | 1 | 1 | |
MILA3000 | 1 | 1 | |
レーザー顕微鏡 | 1 | 1 | |
集束イオンビーム (FIB) 装置 (Scios) | 1 | 1 |