装置講習の予定
特にStep1(講師が実際に使用し，説明するのを見学)の講習においては，複数の受講者を対象にした講習を行う可能性があり，その場合には，この欄に日時等をアナウンスいたします．
装置と使用に必要な講習回数
表の値は目安で，ユーザーの実験のご経験に基づいて，ご利用許可を出させていただく場合があります．
| 装置名(リンク) | 必要講習 | 備考 | |
|---|---|---|---|
| Step1 | Step2 | ||
| ELS7700 | 1 | 2 | レジストレーション（マスク合わせ）まで含めた描画には，更に講習が必要です． |
| ネオアークPALET | 1 | 1 | |
| イオンビームスパッタ蒸着装置１ | 1 | 1 | イオンビームスパッタ装置２と，多少異なる点はありますが，使用法はほぼ同じなので，２が使えれば，１の講習は必要ありません． |
| イオンビームスパッタ蒸着装置２ | 1 | 1 | イオンビームスパッタ装置１と，多少異なる点はありますが，使用法はほぼ同じなので，１が使えれば，２の講習は必要ありません． |
| デュアルイオンビームスパッタ蒸着装置 | 1 | 1 | |
| E-ガンソース蒸着機 | 1 | 1 | |
| ECRイオンエッチ装置 | 1 | 1 | |
| 試料回転蒸着機 | 1 | 0 | 簡易な抵抗加熱式蒸着機で，一度説明をきけば OK． |
| Bruker (Veeco) AFM Innova | 1 | 1 | |
| UVオゾンクリーナー | 1 | 1 | |
| 酸素プラズマクリーナー | 1 | 1 | |
| JEOL J6340F | 1 | 1 | |
| MILA3000 | 1 | 1 | |
| レーザー顕微鏡 | 1 | 1 | |
| 集束イオンビーム (FIB) 装置 (Scios) | 1 | 1 | |
| JEOL JSM7100F | 1 | 1 | |
| ALD | 1 | 1 | |
| マグネトロン スパッタ装置 | 1 | 1 | |
| 段差計 ET200A | 1 | 1 | |