量子物質ナノ構造ラボ 装置使用講習について

装置講習の予定

特にStep1(講師が実際に使用し,説明するのを見学)の講習においては,複数の受講者を対象にした講習を行う可能性があり,その場合には,この欄に日時等をアナウンスいたします.

装置と使用に必要な講習回数

表の値は目安で,ユーザーの実験のご経験に基づいて,ご利用許可を出させていただく場合があります.

装置名(リンク)必要講習備考
Step1Step2
ELS770012レジストレーション(マスク合わせ)まで含めた描画には,更に講習が必要です.
ネオアークPALET11
イオンビームスパッタ蒸着装置111イオンビームスパッタ装置2と,多少異なる点はありますが,使用法はほぼ同じなので,2が使えれば,1の講習は必要ありません.
イオンビームスパッタ蒸着装置211イオンビームスパッタ装置1と,多少異なる点はありますが,使用法はほぼ同じなので,1が使えれば,2の講習は必要ありません.
デュアルイオンビームスパッタ蒸着装置11
E-ガンソース蒸着機11
ECRイオンエッチ装置11
試料回転蒸着機10簡易な抵抗加熱式蒸着機で,一度説明をきけば  OK.
Bruker (Veeco) AFM Innova11
UVオゾンクリーナー 11
酸素プラズマクリーナー 11
JEOL J6340F11
MILA300011
レーザー顕微鏡11
集束イオンビーム (FIB) 装置 (Scios)11